高速扫描电子显微镜

这是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

产品概述
配置选型

★ 图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

★ 加速电压：100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)

★ 分辨率：1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM

★ 视场大小：最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场64*64 um²

★ 样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

★ 高速自动化：

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

★ 大场低畸变：

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

★ 低压高分辨：

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率